| 发明名称 | 一种氧化铟锡薄膜的处理工艺 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种氧化铟锡薄膜的处理工艺，其特征在于，所述工艺方法如下：将氧化铟锡薄膜放入盛有异丙醇的烧杯中浸泡15分钟；浸泡完后，放入超声机中超声5分钟；取出氧化铟锡薄膜，将其放入20%浓度的磷酸溶液中浸泡15分钟；取出氧化铟锡薄膜，用去离子水冲洗。本发明方法能够使氧化铟锡薄膜的表面电阻基本保持不变，但表面更加平整，透光率不变，更加适宜用作OLEDs的基底；经过浓度为20%磷酸处理后的器件，其发光效率更高。 | ||
| 申请公布号 | CN103801532A | 申请公布日期 | 2014.05.21 |
| 申请号 | CN201210461967.0 | 申请日期 | 2012.11.15 |
| 申请人 | 张恒 | 发明人 | 张恒 |
| 分类号 | B08B3/08(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I | 主分类号 | B08B3/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人 | 王澎 |
| 主权项 | 一种氧化铟锡薄膜的处理工艺，其特征在于，所述工艺方法如下：（1）将氧化铟锡薄膜放入盛有异丙醇的烧杯中浸泡15分钟；（2）浸泡完后，放入超声机中超声5分钟；（3）取出氧化铟锡薄膜，将其放入20%浓度的磷酸溶液中浸泡15分钟；（4）取出氧化铟锡薄膜，用去离子水冲洗。 | ||
| 地址 | 264003 山东省烟台市莱山区清泉路30-256号 | ||