低温泵、低温板结构以及真空排气方法

摘要

本发明提供一种用于非冷凝性气体的高速排气的低温泵、低温板结构及真空排气方法。本发明的低温泵（10）具备低温板（102）的嵌套状排列。进入到低温板（102）的嵌套状排列的间隙中的氢分子被低温板（102）反射。被反射的氢分子在另一低温板（102）上被吸附。多个低温板（102）也可以各自具有倒锥台形的形状。

主权项

一种低温泵，其特征在于，具备：放射屏蔽件，该放射屏蔽件具备划定屏蔽件开口的屏蔽件前端、与所述屏蔽件开口对置的屏蔽件底部及从所述屏蔽件前端向所述屏蔽件底部延伸的屏蔽件侧部；及低温板总成，该低温板总成被冷却成比所述放射屏蔽件更低温，且具备沿着自所述屏蔽件开口朝向所述屏蔽件底部的方向排列的多个低温板，所述多个低温板具备：第1低温板，该第1低温板具备第1内侧端部及朝向所述屏蔽件侧部的第1外侧端部；及第2低温板，该第2低温板具备第2内侧端部及朝向所述屏蔽件侧部的第2外侧端部，自所述屏蔽件开口到所述第2内侧端部的距离比自所述屏蔽件开口到所述第1内侧端部的距离长，自所述屏蔽件开口到所述第2外侧端部的距离比自所述屏蔽件开口到所述第1外侧端部的距离长，自所述屏蔽件开口到所述第2外侧端部的距离比自所述屏蔽件开口到所述第1内侧端部的距离短。