一种四氯化锗高精度供应方法及其设备

摘要

本发明涉及的是一种四氯化锗（GeCl4）高精度供应方法及其设备，用于制造光纤预制棒的芯棒。包括蒸发设备可编程序控制器PLC、蒸发设备触摸屏、VAD设备PLC、加热带一、加热带二、加热带三、加热带四、温度传感器一、温度传感器二、温度传感器三、温度传感器四、压力传感器、液位传感器、控制阀一、控制阀二、控制阀三、质量流量控制器一、质量流量控制器二、蒸发罐和电源；蒸发罐设置有液位传感器、压力传感器、温度传感器一和电子称，用于监控罐体状况；在蒸发罐设底部设置有电子称，可以实时监控重量，在蒸发罐外部设置有加热带一，蒸发罐上装有GeCl₄原料液体输送管，GeCl₄原料液体输送管上装有控制阀一，蒸发罐上装有蒸发罐出口管道，电源给蒸发设备供电。

主权项

一种四氯化锗高精度供应设备，其特征在于：包括蒸发设备可编程序控制器PLC 、蒸发设备触摸屏、VAD设备PLC 、加热带一、加热带二、加热带三、加热带四、温度传感器一、温度传感器二、温度传感器三、温度传感器四、压力传感器、液位传感器、控制阀一、控制阀二、控制阀三、质量流量控制器一、质量流量控制器二、蒸发罐和电源；蒸发罐设置有液位传感器、压力传感器、温度传感器一和电子称，用于监控罐体状况；在蒸发罐设底部设置有电子称，可以实时监控重量，在蒸发罐外部设置有加热带一，蒸发罐上装有GeCl₄原料液体输送管，GeCl₄原料液体输送管上装有控制阀一，蒸发罐上装有蒸发罐出口管道，电源给蒸发设备供电；N₂输送管上装加热带二、温度传感器二，N₂输送管上装有控制阀二，N₂输送管与GeCl₄原料液体输送管、蒸发罐出口管道连通，通过控制阀二控制，N₂为吹扫气体，对GeCl₄ 的管道都设有吹扫和排放管道和控制阀；Ar输送管上装有加热带三、温度传感器三、质量流量控制器一，Ar输送管上装有控制阀三，Ar供应源通过气体过滤、调压、通过质量流量控制器一按蒸发设备可编程序控制器PLC 给定的流量供应到蒸发罐出口管道；蒸发罐出口管道上装有加热带四、温度传感器四、质量流量控制器二，并装有控制阀四，蒸发罐出口管道为光纤预制棒轴向气相沉积法制造设备的喷灯提供原料气GeCl₄、载气气Ar；蒸发设备可编程序控制器PLC 与VAD设备PLC 相连，蒸发设备可编程序控制器PLC 与蒸发设备触摸屏相连，温度传感器一、温度传感器二、温度传感器三、温度传感器四、压力传感器和液位传感器分别通过信号线与蒸发设备可编程序控制器PLC 相连，蒸发设备可编程序控制器PLC 分别通过信号控制线与加热带一、加热带二、加热带三、加热带四、质量流量控制器一、质量流量控制器二、控制阀一、控制阀二、控制阀三相连。