| 发明名称 | 一种三氯氧磷鼓泡器 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种三氯氧磷鼓泡器，其特征在于，鼓泡器上设有进气口及出气口，进气口的一端位于鼓泡器内下侧，另一端从鼓泡器上方露出；出气口的一端与鼓泡器上侧连通，另一端位于鼓泡器上方；鼓泡器上设有非接触式电容液位计、温度传感器及光学液位传感器。本实用新型提供的三氯氧磷鼓泡器通过两种不同方式准确测量鼓泡器内源料液位的三氯氧磷新型鼓泡器，使鼓泡器自动补液系统更安全可靠。 | ||
| 申请公布号 | CN203602361U | 申请公布日期 | 2014.05.21 |
| 申请号 | CN201320548343.2 | 申请日期 | 2013.09.04 |
| 申请人 | 上海正帆科技有限公司;上海正帆半导体设备有限公司 | 发明人 | 缪南山;张敏;李东升 |
| 分类号 | C01B25/10(2006.01)I;B01F13/02(2006.01)I | 主分类号 | C01B25/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人 | 翁若莹 |
| 主权项 | 一种三氯氧磷鼓泡器，其特征在于，鼓泡器(12)上设有进气口(3)及出气口(4)，进气口(3)的一端位于鼓泡器(12)内下侧，另一端从鼓泡器(12)上方露出；出气口(4)的一端与鼓泡器(12)上侧连通，另一端位于鼓泡器(12)上方；鼓泡器(12)上设有非接触式电容液位计(5)、温度传感器(9)及光学液位传感器(11)。 | ||
| 地址 | 201108 上海市闵行区春中路56号 | ||