发明名称 半导体装置及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI438875 申请公布日期 2014.05.21
申请号 TW100116105 申请日期 2011.05.09
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 发明人 林彦甫;林俊成;邱文智;郑心圃;余振华
分类号 H01L23/28;H01L23/544 主分类号 H01L23/28
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号