激光直写玻璃表面制备光学微结构的方法

摘要

激光直写玻璃表面制备光学微结构的方法属于激光加工领域，本发明包括以下步骤：将激光聚焦到玻璃表面，开启压缩气罐阀门，通过内径为4mm～7mm的通气管平行于玻璃表面吹辅助气体，辅助气体压强为0.3MPa～0.4MPa，平台运动速度设定为200mm/min～500mm/min，能量密度设定为2.1～7.5J/cm²；开光加工；完成后利用超声波清洗2～5分钟；激光器是低重频0.5KHz～5KHz、长脉宽20～120μs的激光器；激光器是532nm半导体泵浦激光器以及1064nm固体激光器。本发明可以在玻璃表面加工槽状微结构，微结构粗糙度小、无微裂纹。同时本发明使用的激光器成本低、易于维护。

主权项

激光直写玻璃表面制备光学微结构的方法，其特征在于，包括以下步骤：将激光聚焦到玻璃表面，开启压缩气罐阀门，通过内径为4mm～7mm的通气管平行于玻璃表面吹辅助气体，辅助气体压强为0.3MPa～0.4MPa，平台运动速度设定为200mm/min～500mm/min，对于BK7玻璃激光能量密度设定为3.1J/cm²～7.5J/cm²，对于普通玻璃能量密度设定为2.1J/cm²～6.4J/cm²；开光加工；完成后利用超声波清洗2～5分钟；激光器是低重频0.5KHz～5KHz、长脉宽20～120μs的激光器；激光器是532nm半导体泵浦激光器以及1064nm固体激光器。