| 发明名称 | 电源装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种电源装置，包括电源；油式变压器，位于半导体制造设备内部，所述油式变压器具有输入端，所述输入端与所述电源耦接；安全保护装置，串联于油式变压器输入端，用于在油式变压器输入端的电流超过安全保护装置的阈值电流时，能使油式变压器与所述电源断开。所述安全保护装置具有使油式变压器断路的功能，在油式变压器承受瞬间巨大的短路电流或故障电流时及时地切断电路，提高油式变压器的安全性。 | ||
| 申请公布号 | CN103812084A | 申请公布日期 | 2014.05.21 |
| 申请号 | CN201410080842.2 | 申请日期 | 2014.03.06 |
| 申请人 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 发明人 | 徐继六;汪政明;刘勰 |
| 分类号 | H02H7/04(2006.01)I;H02H3/08(2006.01)I | 主分类号 | H02H7/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 高静;骆苏华 |
| 主权项 | 一种电源装置，其特征在于，包括：电源；油式变压器，位于半导体制造设备内部，所述油式变压器具有输入端，所述输入端与所述电源耦接；安全保护装置，串联于所述油式变压器输入端与所述电源之间，用于在油式变压器输入端的电流超过安全保护装置的阈值电流时，使油式变压器与所述电源断开。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号 | ||