| 发明名称 | 晶圆叉件安装方法 | ||
| 摘要 | 一种晶圆叉件安装方法，包括：提供一侧壁具有多个卡槽的移动端；提供至少一个晶圆叉件安装模具，所述晶圆叉件安装模具侧壁具有多个凹槽，所述凹槽的宽度与晶圆叉件的各个子叉件的厚度相等，相邻凹槽之间的间距为标准晶圆装置间距；在将晶圆叉件的各个子叉件固定安装至具有卡槽的移动端的过程中，将晶圆叉件的各个子叉件卡合在晶圆叉件安装模具的对应的凹槽内，实现晶圆叉件的各个子叉件水平并使各个子叉件之间的间距为标准晶圆装置间距。可快速精准的实现晶圆叉件的安装，提高其安装精度，降低传递晶圆时晶圆破碎的危险，降低生产成本。 | ||
| 申请公布号 | CN103811392A | 申请公布日期 | 2014.05.21 |
| 申请号 | CN201410086097.2 | 申请日期 | 2014.03.10 |
| 申请人 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 发明人 | 汤新龙;张奕顺 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/68(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
| 主权项 | 一种晶圆叉件安装方法，其特征在于，包括：提供一侧壁具有多个卡槽的移动端；提供至少一个晶圆叉件安装模具，所述晶圆叉件安装模具侧壁具有多个凹槽，所述凹槽的宽度与晶圆叉件的各个子叉件的厚度相等，相邻凹槽之间的间距为标准晶圆装置间距；在将晶圆叉件的各个子叉件固定安装至具有卡槽的移动端的过程中，将晶圆叉件的各个子叉件卡合在晶圆叉件安装模具的对应的凹槽内，实现晶圆叉件的各个子叉件水平并使各个子叉件之间的间距为标准晶圆装置间距。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区上海张江高科技园区祖冲之路1399号 | ||