发明名称 β型矽铝氮氧化物之制造方法、β型矽铝氮氧化物及其利用制品
摘要
申请公布号 TWI438261 申请公布日期 2014.05.21
申请号 TW100116605 申请日期 2011.05.12
申请人 电气化学工业股份有限公司 日本 发明人 市川真义;江本秀幸
分类号 C09K11/64;C04B35/64;H01L33/50 主分类号 C09K11/64
代理机构 代理人 何金涂 台北市大安区敦化南路2段77号8楼;丁国隆 台北市大安区敦化南路2段77号8楼
主权项
地址 日本