激光诱导热成像设备和激光诱导热成像方法

摘要

一种激光热成像设备，包括：配置成接收基板的基板载台；位于基板载台上方的光束照射单元，该光束照射单元被配置成将对准激光束照射到基板的对准标记上；以及与光束照射单元相对的光束观察单元，基板载台被设置在光束观察单元与光束照射单元之间，该光束观察单元被配置成观察对准激光束与由对准标记形成的对准标记的阴影。

主权项

一种激光热成像设备，包括：基板载台，配置成接收基板；光束照射单元，位于所述基板载台上方并被配置成将对准激光束照射到所述基板的对准标记上；以及光束观察单元，与所述光束照射单元相对，所述基板载台设置在所述光束观察单元与所述光束照射单元之间，所述光束观察单元被配置成观察所述对准激光束与由所述对准标记形成的所述对准标记的阴影。