发明名称 Décapage en série de corps semi-conducteurs
摘要
申请公布号 FR1294027(A) 申请公布日期 1962.05.18
申请号 FR19610866909 申请日期 1961.07.04
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED 发明人
分类号 C23F1/00;C23F1/40;H01L21/00 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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