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发明名称 藉由利用氮气之锌靶材的反应性溅镀所产生的薄膜半导体材料
摘要
申请公布号 TWI438294 申请公布日期 2014.05.21
申请号 TW097113850 申请日期 2008.04.16
申请人 应用材料股份有限公司 美国 发明人 叶彦
分类号 C23C14/34;H01L21/283 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项
地址 美国
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