晶体振子的制造方法

摘要

本发明提供一种无需对晶体振子施加多余的外力而可以实现高精度的微细调整，并且可以对多个晶体振子一并进行调整的晶体振子的制造方法。一种晶体振子的制造方法，其特征在于包括：形成规定的外形形状的第1蚀刻工序；在所述外形形状的表面的至少一部分中形成电极的电极形成工序；对通过所述外形形状的泄漏振动引起的泄漏量进行测定的泄漏量测定工序；为了调整平衡，对所述外形形状进行基于所述泄漏量测定工序的测定结果的量的蚀刻的第2蚀刻工序。

主权项

一种晶体振子的制造方法，其特征在于包括：第1蚀刻工序，形成规定的外形形状；电极形成工序，在所述外形形状的表面的至少一部分中形成电极；泄漏量测定工序，对与所述外形形状相关联而生成的泄漏振动的泄漏量进行测定；电极加工工序，基于所述泄漏量测定工序的测定结果，将所述电极加工为规定形状，以使在所述外形形状的表面具有去除了所述电极的调整区域；以及第2蚀刻工序，以在所述电极加工工序中所加工的所述电极为掩模，对所述外形形状进行蚀刻，以使所述泄漏量在规定的范围内，所述外形形状具有基部以及从所述基部延伸设置的至少一个振动脚，在所述电极形成工序中，在所述振动脚上形成所述电极。