发明名称 微影装置及器件制造方法
摘要
申请公布号 TWI438577 申请公布日期 2014.05.21
申请号 TW098140408 申请日期 2009.11.26
申请人 ASML荷兰公司 荷兰 发明人 克雷潘 席杰 艾吉迪斯 乔汉那斯;布鲁斯 理查 乔瑟夫;凡 多姆伦 尤瑞 乔汉那 劳瑞提斯 玛利亚;贾库博 乔汉斯 亨利哈斯 威廉玛斯;坎费尔斯 马丁 汉德瑞克;利伯葛汀 保洛 马丁司 马利亚;马斯 鲁道夫 安德鲁斯 乔安那斯;史塔芬家 马可 寇特;弗斯班根 柯尹 康那利斯 威廉斯;派兰斯 路迪 詹 玛丽亚;凡 德 郝芬 珍 寇妮丝;安斯托兹 大卫 路希安;布拉德 格特 珍 格尔达斯 乔汉那斯 汤玛斯;凡 德 禅登 马可 约翰那斯;贝丹 维杰 库马;达 葛鲁特 卡斯伯 罗德瑞克
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 荷兰