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经营范围
发明名称
静电吸盘及其制造方法
摘要
申请公布号
TWI438860
申请公布日期
2014.05.21
申请号
TW098131260
申请日期
2009.09.16
申请人
圆益ＩＰＳ股份有限公司 南韩
发明人
曹生贤;朴熔均
分类号
H01L21/68;C23C14/56
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
洪尧顺 台北市内湖区行爱路176号3楼
主权项
地址
南韩
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