| 摘要 |
1. Источник (1) для нанесения покрытия физическим осаждением из паровой фазы, включающий по меньшей мере один компонент (2, 7, 8), изготовленный из по меньшей мере одного порошкообразного исходного материала в процессе изготовления способом порошковой металлургии, и по меньшей мере одну ферромагнитную область (5a, 5b, 6), встроенную в компонент, причем по меньшей мере одна ферромагнитная область (5a, 5b, 6) введена в компонент (2, 7, 8) и неподвижно соединена с компонентом в процессе изготовления способом порошковой металлургии.2. Источник для нанесения покрытия по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере одна ферромагнитная область (5a, 5b, 6) включает по меньшей мере одну область (6), изготовленную из ферромагнитного материала, введенного в порошковой форме в процессе изготовления способом порошковой металлургии.3. Источник для нанесения покрытия по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере одна ферромагнитная область (5a, 5b, 6) включает по меньшей мере одну область с постоянной намагниченностью.4. Источник для нанесения покрытия по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере одна ферромагнитная область (5a, 5b, 6) включает по меньшей мере одно ферромагнитное тело (5а, 5b), введенное в процессе изготовления способом порошковой металлургии.5. Источник для нанесения покрытия по п.1, отличающийся тем, что источник (1) для нанесения покрытия включает мишень (2), и по меньшей мере одна ферромагнитная область (5a, 5b, 6) расположена в мишени.6. Источник для нанесения покрытия по п.1, отличающийся тем, что источник (1) для нанесения покрытия включает мишень (2) и подкладку (7), которая неподвижно соединена с мишенью для теплового взаимодействия с охлаждаемой под� |
