Abstandsmessverfahren, Abstandsmessvorrichtung, die dieses verwendet, und Abstandsmessaufbau, der dieses verwendet

摘要

Abstandsmessverfahren zur Messung eines Abstands zwischen einem Abstandsmesssystem (10) und einem Messobjekt (M), welches Verfahren die folgenden Schritte umfasst: (1) eine erste elektromagnetische Welle als eine erste laufende Welle (D) in Richtung auf das Messobjekt (M) zu senden, wobei das Messobjekt (M) die erste laufende Welle (D) reflektiert, um eine erste reflektierte Welle (R) zu erzeugen, (2) eine Frequenz der ersten laufenden Welle zu ändern, (3) eine Amplitude einer ersten stehenden Welle (S) in einer ersten Position des Abstandsmesssystems (10) nachzuweisen und ein erstes Amplitudensignal zu erzeugen, das die Amplitude der ersten stehenden Welle darstellt, wobei die erste stehende Welle durch Interferenz zwischen der ersten reflektierten Welle und der ersten laufenden Welle erzeugt wird, und (4) unter Verwendung des ersten Amplitudensignals eine erste Berechnung durchzuführen, um gleichzeitig einen ersten Abstand zwischen der ersten Position und dem Messobjekt (M) sowie eine erste Relativgeschwindigkeit zwischen der ersten Position und dem Messobjekt (M) zu gewinnen.