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Verfahren für ein nicht-kontaktierendes Messen einer Oberflächenform eines Werkstücks durch Autofokussierungssteuerung eines autofokussierenden Optiksystems einer Lasersonde in einer vertikalen Richtung (Z) in Bezug auf eine Oberfläche des Werkstücks (1) und durch kontinuierliches Abtasten des Werkstücks in einer horizontalen Richtung (X, Y), zum Messen der Oberflächenform des Werkstücks in Übereinstimmung mit einer Verschiebungsgröße einer Objektivlinse (4) des autofokussierenden Optiksystems in der vertikalen Richtung, das derart gesteuert wird, dass ein Rückstrahl (L') der Lasersonde in fokussierter Position in der Mitte eines zweiteiligen Sensors (5) empfangen wird, wobei das Verfahren für ein nicht-kontaktierendes Messen einer Oberflächenform folgende Schritte umfasst: Erfassen einer Spannungsdifferenz zwischen den beiden Sensoren des zweiteiligen Sensors und Bestimmen, ob die erfasste Spannungsdifferenz innerhalb eines Nachbarschaftsbereichs liegt, der soweit um die fokussierte Position festlegbar ist, dass der Rückstrahl (L') der Lasersonde beide Sensoren des zweiteiligen Sensors teilweise erreicht, Berechnen, wenn die erfasste Spannungsdifferenz innerhalb des Nachbarschaftsbereichs liegt, eines Korrekturwerts für eine Position der Objektivlinse (4) in der vertikalen Richtung in Bezug auf die fokussierte Position, und Addieren des Korrekturwerts zu der tatsächlichen Position der Objektivlinse in der vertikalen Richtung, um die Verschiebungsgröße der Objektivlinse (4) in der vertikalen Richtung zu berechnen, wobei, wenn die erfasste Spannungsdifferenz nicht innerhalb des Nachbarschaftsbereichs liegt, das kontinuierliche Abtasten in der horizontalen Richtung gestoppt wird, bis die Spannungsdifferenz durch Tätigkeit der Autofokussierungssteuerung wieder in den Nachbarschaftsbereich kommt. |
