Vakuumpumpensystem zur Evakuierung einer Kammer sowie Verfahren zur Steuerung eines Vakuumpumpensystems

摘要

Ein Vakuumpumpensystem zur Evakuierung einer Kammer (10) weist ein Hauptpumpensystem (12, 14) auf, das mit der Kammer (10) verbunden ist. Mit dem Hauptpumpensystem (12, 14) ist ein Hilfspumpensystem (20) verbunden, wobei das Hilfspumpensystem (20) eine Ejektorpumpe aufweist. Durch Vorsehen einer derartigen Hilfspumpe kann eine Energieeffizienzsteigerung insbesondere bei Betrieb des Vakuumpumpensystems im Bereich des Enddrucks erzielt werden. Mit Hilfe des erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgt ein Regeln der Drehzahl der mindestens einen Pumpe des Hauptpumpensystems (12, 14) in Abhängigkeit eines am Auslass (16) oder am Einlass (50) des Hauptpumpensystems (12, 14) gemessenen Drucks.