生产多晶硅的装置和方法以及多晶硅的锭和片

摘要

描述了生产晶体硅，特别是多晶硅的方法和装置，其中形成硅原料的熔体，接着以定向的取向使硅熔体凝固。以这种方式在所述熔体上方提供呈气体、液体或固体形式的相或物质，以致硅熔体中、从而凝固的晶体硅中选自氧、碳和氮的外来原子的浓度是可控的；和/或硅熔体上方气相中气体组分的分压是可调和/或可控的，所述气体组分选自氧气、碳气和氮气以及含有至少一种选自氧、碳和氮的元素的气体物质。根据本发明可有效地抑制和预防影响太阳能电池的电性能的杂质化合物沉淀或夹杂物，特别是碳化硅的形成。

主权项

通过硅原料的定向凝固由晶体硅制成的锭，其中该锭不含或基本不含碳化硅（SiC）和/或氮化硅（SiN,Si₃N₄）的外来沉淀或夹杂物，其中整块锭高度的至少90％中的氧浓度不降到低于约3.5x10¹⁷cm^‑3的极限。