| 发明名称 | 制造机电晶体管的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及制造机电晶体管的方法。提供了使用Janus微/纳米部件的机电晶体管及其制造方法。在一个方面，一种制造机电晶体管的方法包括以下步骤。提供晶片。在所述晶片的表面上形成彼此相对的源极电极和漏极电极，其中在所述源极电极和所述漏极电极之间存在间隙。在所述晶片的所述表面上在所述源极电极和所述漏极电极之间的所述间隙的相对侧上形成第一栅极电极和第二栅极电极。将至少一个Janus部件设置在所述源极电极和所述漏极电极之间的所述间隙中，其中所述Janus部件包括具有导电材料的第一部分和具有电绝缘材料的第二部分。 | ||
| 申请公布号 | CN103794494A | 申请公布日期 | 2014.05.14 |
| 申请号 | CN201310524587.1 | 申请日期 | 2013.10.30 |
| 申请人 | 国际商业机器公司 | 发明人 | 曹庆;李正文;刘菲;章贞 |
| 分类号 | H01L21/331(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I | 主分类号 | H01L21/331(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 于静;张亚非 |
| 主权项 | 一种制造机电晶体管的方法，所述方法包括以下步骤：提供晶片；在所述晶片的表面上形成彼此相对的源极电极和漏极电极，其中在所述源极电极和所述漏极电极之间存在间隙；在所述晶片的表面上在所述源极电极和所述漏极电极之间的间隙的相对侧上形成第一栅极电极和第二栅极电极；将至少一个Janus部件设置在所述源极电极和所述漏极电极之间的所述间隙中，其中所述Janus部件包括具有导电材料的第一部分和具有电绝缘材料的第二部分。 | ||
| 地址 | 美国纽约 | ||