一种直写式光刻系统中倾斜扫描显示方法

摘要

本发明公开了一种直写式光刻系统中倾斜扫描显示方法，根据倾斜因子N，以左对齐的N行N列像素数据为基准，组合成N²行数据顺序存放在内存中，FPGA按照平台移动依次选取相应行的数据给微镜DMD显示。本发明的数据存放在DDR2中，微镜DMD是用FPGA控制，倾斜扫描显示是根据倾斜因子和平台扫描方式制定图像更新的方法，以便于设计优化FPGA的工作方式，提升DDR2读取数据的效率。

主权项

一种直写式光刻系统中倾斜扫描显示方法，其特征在于，具体方法包括以下步骤：（1）首先，根据曝光要求的分辨率、最小线宽和微镜DMD经物镜投影的光斑大小，求出倾斜因子，倾斜因子为整数，假设倾斜因子为N，要求的分辨率为pw，投影的光斑长宽大小为pie，倾斜因子N等于sqrt[(pie/pw)²‑1]的最近整数，旋转角度为argtg(1/N)；（2）根据倾斜因子N确定数据的排列方式，以左对齐的N行N列像素数据为基准，组合成N²行数据存放在内存中；（3）平台在设定范围移动时根据移动距离产生触发信号PSO，再由触发信号PSO触发图像更新，移动距离是由倾斜因子、投影的光斑大小确定，假设移动距离是CD，则移动距离CD=pie÷N，即在平台每移动一个CD距离时触发一次微镜DMD的图像更新，实现投影图像在Y方向的网格分辨，同时倾斜角度确定了投影图像在X方向的网格分辨；（4）FPGA按照平台移动方式和倾斜因子依次选取相应行的数据给微镜DMD显示，投影图像在Y轴方向的更新由平台控制，投影图像在X轴方向的更新是通过图像在微镜DMD上的位置实现，即每次更新投影图像时先Y方向原位显示N次网格移动数据图像，再Y方向下移一行再显示N次网格移动数据图像实现在X方向移动一个网格，如此重复N次后完成一个微镜DMD投影光斑显示；再在X方向左或右移动一位，继续重复此投影的N²网格显示循环，根据像素的灰度值显示N²网格。