发明名称 半导体装置及其制造方法
摘要 本发明涉及至少在光学应用中使用的半导体装置(1)及其制造方法。该半导体装置(1)包括:至少一个实质上以光学无源模式可操作的光学无源组件(2);以及至少一种光学有源材料(6),包括实质上以光学有源模式可操作的至少一种材料,其中:光学无源组件(2)图案化为包括具有至少一个预限定结构(5)的至少一个光子结构(4),并且光学有源材料(6)形成在预限定结构(5)中以在至少一个横向平面中与光学无源组件(2)实质上自对准。
申请公布号 CN103794985A 申请公布日期 2014.05.14
申请号 CN201310529426.1 申请日期 2013.10.31
申请人 国际商业机器公司 发明人 J.霍夫里克特;M.里克特;L.乔诺马兹;H.E.里尔
分类号 H01S5/34(2006.01)I;H01S5/187(2006.01)I;H01S5/10(2006.01)I 主分类号 H01S5/34(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 邱军
主权项 一种至少在光学应用中使用的半导体装置(1),包括:以光学无源模式实质上可操作的至少一个光学无源组件(2),以及至少一种光学有源材料(6),该光学有源材料(6)包括至少一种以光学有源模式实质上可操作的材料,其中:该光学无源组件(2)图案化为包括具有至少一个预限定结构(5)的至少一个光子结构(4),并且该光学有源材料(6)形成在该预限定结构(5)中,以实质上在至少一个横向平面中与该光学无源组件(2)自对准。
地址 美国纽约阿芒克