一种半导体设备超温与断偶报警的处理装置及方法

摘要

一种半导体热处理设备超温与断偶报警的处理装置及方法，该方法包括：温度监控表根据采集每个温区热电偶采集的温度信息，产生超温热偶的温信号和/或断偶信号：当温度监控表的一个输出端有某一段或多段温区的超温报警信号产生，该温区对应的温控表超温报警延时继电器开始计时，同时如果温度监控表的另一输出端在延时时间周期中，没有断偶信号输出，则使炉体加热继电器得电其常闭触点断开，从而控制加热使能继电器失电而断掉加热，并向PLC发出超温报警信号；若延时时间周期中有断偶信号输出，则断偶报警继电器的常闭触点断开，温控表超温报警延时继电器计时复位，并向PLC发出断偶报警。因此，本发明通过硬件电路的方式对超温报警断加热，而非通过上位机软件或PLC程序处理，提高了设备的可靠性。

主权项

一种半导体热处理设备超温与断偶报警的处理装置，所述半导体热处理设备中包括多个控温区，每个控温区分别包括热电偶、温度控制单元和加热单元，其特征在于，包括：温度监控表，包括第一辅助输出常开触点和第二辅助输出常开触点；其中，当有超温报警信号输出时，第一辅助输出常开触点闭合，当有断偶信号输出时，第二辅助输出常开触点闭合；超温报警延时继电器，为常闭继电器；其中，使用其常闭触点作为PLC报警信号输入，使用其常开触点作为加热继电器线圈控制开关；断偶继电器，为常开型继电器；其中，使用其常闭触点作为PLC报警信号输入，使用其常开触点作为加热继电器线圈控制开关；炉体加热继电器，为常闭继电器；PLC数字量输入模块，用作报警信号的处理；其中，所述第一辅助输出触点输出超温热偶的超温信号，且与所述超温报警延时继电器线圈相连，所述第二输出触点输出断偶信号，且与所述断偶继电器线圈相连；所述超温报警延时继电器的常闭触点和断偶继电器的常开触点分别接到PLC数字量输入模块；所述超温报警延时继电器的常开触点并联后接到炉体加热继电器线圈；所述炉体加热继电器的常闭触点串接到各温区加热使能的主干路上，以控制所述接触器加热的通断。