正压标准气体流量计及正压标准气体流量测量方法

摘要

本发明提供一种正压标准气体流量计及正压标准气体流量测量方法。正压标准气体流量计，包括限流元件，限流元件具有相互连通的第一接气孔和第二接气孔，第一接气孔通过第一管路连接微调阀门，第一管路上连接有压力计，第二接气孔通过第二管路分别连接第一阀门和第二阀门，第一阀门和第二阀门的气路并联，第二阀门通过第三管路连接真空计。上述方案，不需要采用正压漏率原器件，完全克服在获得不同量值正压流量时，必需更换不同结构类型正压漏率原器件所带来的正压标准气体流量的不准确性。通过微调阀门和压力计共同控制流经限流元件气体压力，实现不同量值正压标准气体流量的获得，克服不同正压漏率元器件技术指标变化带来的流量准确度的影响。

主权项

一种正压标准气体流量计，其特征在于，包括限流元件，所述限流元件具有相互连通的第一接气孔和第二接气孔，所述第一接气孔通过第一管路连接微调阀门，所述第一管路上连接有压力计，所述第二接气孔通过第二管路分别连接第一阀门和第二阀门，所述第一阀门和所述第二阀门的气路并联，所述第二阀门通过第三管路连接真空计。