具有可移动式热交换器的定向固化炉

摘要

本发明公开了一种定向固化炉，该炉包括设置在坩埚下方的一个或多个可移动的冷却板。在第一位置，冷却板不与邻近坩埚设置的坩埚支承件接触。在第二位置，冷却板与坩埚支承件接触。控制系统用于控制由冷却板施加在坩埚上的力的量值。

主权项

一种用于生产多晶硅晶锭的定向固化炉，所述炉包括：用于容纳硅装载物的坩埚；邻近所述坩埚设置的用于支承所述坩埚的坩埚支承件，所述坩埚支承件具有底座；设置在所述坩埚支承件的所述底座的下方的冷却板；用于在第一位置和第二位置之间移动所述冷却板的提升系统，在第一位置，所述冷却板不与所述坩埚支承件的所述底座接触，在第二位置，所述冷却板与所述坩埚支承件的所述底座接触；和用于控制所述冷却板施加在所述坩埚支承件的所述底座上的力的量值的控制系统。