发明名称 |
太阳能电池抛光工艺 |
摘要 |
本发明涉及一种太阳能电池抛光工艺,属于太阳能光伏电池制造技术领域。主要特点是电解液采用10~35%浓度的HF溶液,阳极电极直接植入滚轮上,阳极电极和槽体内的阴极电极接电源,电流控制在不大于10A,电压控制在不大于36V,通过滚轮带液的方式对硅片背面进行抛光处理,滚轮带液转动的时候阳极电极可与硅片接触,从而使硅片形成阳极。本发明工艺较HF/HNO3单面刻蚀抛光效果要好,不仅工艺容易控制,而且由于通入电流增强了化学反应强度,与不通电流工艺相比达到相同刻蚀效果,使用更少的化学药液量,所以也节约了化学药液的使用量,降低电池工艺成本。 |
申请公布号 |
CN103794677A |
申请公布日期 |
2014.05.14 |
申请号 |
CN201310600401.6 |
申请日期 |
2013.11.25 |
申请人 |
中电电气(扬州)光伏有限公司 |
发明人 |
叶权华;郑飞 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;C30B33/10(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
扬州苏中专利事务所(普通合伙) 32222 |
代理人 |
孙忠明 |
主权项 |
一种太阳能电池抛光工艺,包括槽体和槽体内的电解液,其特征是,所述的电解液采用10~35% 浓度的HF溶液,阳极电极直接植入滚轮上,阳极电极和槽体内的阴极电极接电源,电流控制在不大于10A, 电压控制在不大于36V,通过滚轮带液的方式对硅片背面进行抛光处理,滚轮带液转动的时候阳极电极可与硅片接触,从而使硅片形成阳极。 |
地址 |
211400 江苏省扬州市仪征市经济开发区闽泰大道1号 |