| 发明名称 | 微机械构件 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种微机械构件（100），所述微机械构件具有第一腔室（1）和第二腔室（3），在所述第一腔室中设置有第一传感器（2），在所述第二腔室中设置有第二传感器（4），其中，在所述第一腔室中和所述第二腔室中存在不同的压力，其特征在于，所述两个腔室（1，3）之一通过第三腔室（5）延伸至第一格栅结构（6），所述第一格栅结构设置在所述构件（100）的边缘区域中并且基本上严密密封地封闭。 | ||
| 申请公布号 | CN103787260A | 申请公布日期 | 2014.05.14 |
| 申请号 | CN201310511826.X | 申请日期 | 2013.10.25 |
| 申请人 | 罗伯特·博世有限公司 | 发明人 | J·贡斯卡;J·赖因穆特;K·古切;J·弗莱;H·韦伯 |
| 分类号 | B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;G01C19/5656(2012.01)I;G01P15/00(2006.01)I | 主分类号 | B81B3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 郭毅 |
| 主权项 | 一种微机械构件（100），所述微机械构件具有第一腔室（1）和第二腔室（3），在所述第一腔室中设置有第一传感器（2），在所述第二腔室中设置有第二传感器（4），其中，在所述第一腔室中和所述第二腔室中存在不同的压力，其特征在于，所述两个腔室（1，3）之一通过第三腔室（5）延伸至格栅结构（6），所述格栅结构设置在所述构件的边缘区域中并且基本上严密密封地封闭。 | ||
| 地址 | 德国斯图加特 | ||