低于大气压的气体洗涤器

摘要

为了使通过泵或允许在其中累积的污染物的量最小化，提供适用于真空泵上游的低于大气压的气体洗涤器(100)。该气体洗涤器包括：容器(12)和用于在容器内形成清洁溶剂喷射的机构(22)，容器包括用于在低于大气压的压力待清洁的气体的入口(14)和出口(18)，入口和出口布置成使待清洁的气体通过清洁溶剂的喷射，用于形成喷射的机构包括连接到至少一个喷射喷嘴(22)的清洁溶剂入口(24)和清洁溶剂出口(28)，可以使用泵将用过溶剂从容器泵送通过清洁溶剂出口，其中泵(102)布置成将用过的溶剂再循环回到清洁溶剂入口。

主权项

一种适用于真空泵上游的低于大气压的气体洗涤器，所述气体洗涤器包括容器和用于在所述容器内形成清洁溶剂喷射的机构，所述容器包括用于在低于大气压的压力待清洁的气体的入口和出口，所述入口和出口布置成使所述待清洁的气体通过所述清洁溶剂的喷射，用于形成喷射的机构包括一种连接到至少一个喷射喷嘴的清洁溶剂入口、和一种清洁溶剂出口，可以使用泵将用过溶剂从容器泵送通过清洁溶剂出口，其中所述泵布置成将所述用过的溶剂再循环回到所述清洁溶剂入口。