高压流体供给装置

摘要

提供抑制在配管内部所设置的密封部件的性能降低所导致的气体泄漏的高压流体供给装置。该高压流体供给装置1具备：将来自高压流体供给源2的流体经由第一阀装置10与第二阀装置20供给到流体利用装置4的配管3；为保持所述第一、第二阀装置间的配管部分30的密封性而在配管部分30配置的包含弹性体材料的密封部件50；和能够通过控制第一、第二阀装置10、20的开闭来调整配管部分30处的所述流体的压力变动速度的控制部5，其中，控制部5与密封部件50的温度相应地调整所述压力变动速度。

主权项

一种高压流体供给装置，具备：将来自高压流体供给源的流体经由第一阀装置与第二阀装置供给到流体利用装置的配管；为保持所述第一、第二阀装置之间的配管部分的密封性而配置于该配管部分的包含弹性体材料的密封部件；和能够通过控制所述第一、第二阀装置的开闭来调整所述配管部分中的所述流体的压力变动速度的控制部，其中：所述控制部与所述密封部件的温度相应地调整所述压力变动速度。