包括引导质量系统的微机械陀螺仪

摘要

在此披露了一种陀螺仪。该陀螺仪包括一个基底；以及一个引导质量系统。该引导质量系统包括质量块及引导臂。该质量块及该引导臂置于一个与该基底平行的平面内。该质量块耦联到该引导臂。该引导臂还通过一个弹簧耦联到该基底。该引导臂允许该质量块在该平面内向一个第一方向的运动。该引导臂及该质量块绕一个第一传感轴旋转。该第一传感轴在该平面内并且与该第一方向平行。该陀螺仪包括一个用于在该第一方向上振动该质量块的致动器。该陀螺仪还包括一个换能器，该换能器用于响应于绕一个在该平面内的并且与该第一方向正交的第一输入轴的角速度来感测该质量块垂直于该平面的运动。

主权项

一种陀螺仪，包括；一个基底；一个引导质量系统，该引导质量系统包括至少一个质量块以及至少一个引导臂；其中，该至少一个质量块以及该至少一个引导臂置于一个与该基底平行的平面内；该至少一个质量块耦联到该至少一个引导臂；该至少一个引导臂通过至少一个弹簧耦联到该基底；其中，该至少一个引导臂允许该至少一个质量块在该平面内的一个第一方向上的运动；其中，该至少一个引导臂以及该至少一个质量块能够绕一个第一传感轴旋转出该平面，该第一传感轴在该平面内并且与该第一方向平行；一个致动器，用于在该第一方向上振动该至少一个质量块；以及一个换能器，用于响应于绕该平面内的并且与该第一方向正交的一个第一输入轴的角速度来感测该至少一个质量块垂直于该平面的运动。