包括桥部的声学谐振器结构

摘要

本发明提供了包括桥部的声学谐振器结构。该声学谐振器包括第一电极、第二电极和设置在所述第一电极与所述第二电极之间的压电层。该声学谐振器还包括设置在所述第一电极、所述第二电极和所述压电层下方的反射性元件。所述反射性元件、所述第一电极、所述第二电极和所述压电层的重叠部分构成所述声学谐振器的活性区域。该声学谐振器也包括与所述声学谐振器的所述活性区域的末端相邻的桥部。

主权项

一种声学谐振器，包括：第一电极；第二电极；设置在所述第一电极与所述第二电极之间的压电层；反射性元件，其设置在所述第一电极、所述第二电极和所述压电层下方，所述声学谐振器的活性区域由所述反射性元件、所述第一电极、所述第二电极和所述压电层的重叠部分定义，其中所述第一电极大致覆盖所述反射性元件，且所述压电层延伸至所述第一电极的边缘以外；以及桥部，其与所述声学谐振器的所述活性区域的末端相邻，其中所述桥部与所述第一电极的一部分重叠。