一种激光束扫描系统

摘要

本实用新型公开了一种激光束扫描系统，空间立体三维坐标包括Z轴、X轴和Y轴，所述Z轴沿光轴方向设置，激光束扫描系统包括沿Z轴间隔设置的偏转光楔、平移块、光束扫描模块及聚焦镜，所述偏转光楔可绕X轴转动设置，所述平移块可绕X轴摆动设置，所述聚焦镜位于所述光束扫描模块的出射端一侧，所述偏转光楔和平移块位于所述光束扫描模块的入射端一侧，所述光束扫描模块包括沿Z轴间隔设置的道威棱镜、第一补偿组和第二补偿组，所述第一补偿组和第二补偿组分别包括一对楔镜，所述道威棱镜、第一补偿组和第二补偿组绕Z轴同步转动。通过增设第一补偿组和第二补偿组，可分别用于补偿道威棱镜的加工误差和安装误差，提高了激光打孔的精度和稳定性。

主权项

一种激光束扫描系统，空间立体三维坐标包括Z轴、X轴和Y轴，所述Z轴沿光轴方向设置，所述激光束扫描系统包括沿Z轴间隔设置的偏转光楔、平移块、光束扫描模块及聚焦镜，所述偏转光楔可绕X轴转动设置，所述平移块可绕X轴摆动设置，所述聚焦镜位于所述光束扫描模块的出射端一侧，其特征在于：所述偏转光楔和平移块位于所述光束扫描模块的入射端一侧，所述光束扫描模块包括沿Z轴间隔设置的道威棱镜、第一补偿组和第二补偿组，所述第一补偿组和第二补偿组分别包括一对楔镜，所述道威棱镜、第一补偿组和第二补偿组绕Z轴同步转动。