发明名称 升降抖动装置
摘要 本发明公开了一种升降抖动装置,其特征在于,包括:挂篮支架;抖动驱动装置,抖动驱动装置与挂篮支架连接;抖动驱动装置驱动挂篮支架上下往复运动;提升驱动装置,提升驱动装置驱动挂篮支架上升或下降。本发明中的升降抖动装置,既可以使支架上下抖动,蚀刻时,使产品抖动可及时去除蚀刻产生的粉末,提高蚀刻质量;清洗时抖动,可提高清洗效果,且清洗完成后抖动能够快速去除产品表面的水滴。本发明中的升降抖动装置还可以自动实现使产品上升或下降,自动将产品放入蚀刻液或清洗水中,处理完成后自动将产品提升出液面。提升与抖动功能可相互配合,使用方便。
申请公布号 CN102553854B 申请公布日期 2014.05.14
申请号 CN201110459871.6 申请日期 2011.12.31
申请人 上海新阳半导体材料股份有限公司 发明人 王振荣;刘红兵;黄利松
分类号 B08B3/04(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I;H05K3/26(2006.01)I 主分类号 B08B3/04(2006.01)I
代理机构 上海脱颖律师事务所 31259 代理人 李强
主权项 升降抖动装置,其特征在于,包括:挂篮支架;抖动驱动装置,抖动驱动装置与挂篮支架传动连接;抖动驱动装置驱动挂篮支架上下往复运动;所述抖动驱动装置为第一电机;第一电机的输出轴上设置有偏心装置,偏心装置与挂篮支架连接;驱动装置驱动偏心装置转动;偏心装置驱动挂篮支架上下往复运动;所述偏心装置包括圆形的驱动转盘和从动转盘;所述从动转盘安装于驱动转盘的非圆心位置;提升驱动装置,提升驱动装置与挂篮支架传动连接,提升驱动装置驱动挂篮支架上升或下降;提升驱动装置通过传动装置与挂篮支架传动连接;传动装置包括推杆,提升驱动装置驱动推杆上下运动;所述的挂篮支架包括抖动基板,抖动基板设置于推杆向上移动的路线上;抖动基板上安装有限位装置;所述限位装置与抖动基板之间具有容纳从动转盘的间隙,将从动转盘限制于限位装置与抖动基板之间;所述限位装置可转动地设置;限位装置设置于推杆向上移动的路线上,推杆向上移动时推动限位装置旋转,并且在限位装置旋转后脱离对从动转盘的限制。
地址 201616 上海市松江区文合路1268号