用于监控和控制电侵蚀的方法和系统

摘要

用于监控和控制电侵蚀的方法和系统涉及一种用于监控电侵蚀组件(100)中的机械加工的方法，该电侵蚀组件(100)具有电源(20)和从工件(14)跨越间隙(12)设置的电极(10)，该方法包括在电压波形的一半脉宽的时间延迟t_d之后测量电压波形上的一个点处的电压。对于电压波形的多个脉冲重复测量以获得多个电压，每个电压对应各个脉冲中的点。平均这些电压以获得平均电压，将平均电压和至少一个阈值电压比较，以判断机械加工是否在控制之中。如果比较显示该工艺不在控制之中，则产生控制信号，设置该控制信号以调节电源的运行参数，以及如果产生了控制信号则将其施加给电源。

主权项

一种用于监控电侵蚀组件（100）中的机械加工的方法，该电侵蚀组件（100）具有电源（20）和从工件（14）跨越间隙（12）设置的至少一个电极（10），通过在多个脉冲导通周期中在电极和工件之间施加电势差ΔV的电源对该电极供电，所述方法包括：在电压波形的至少一半脉宽Δτ的指定时间延迟t_d之后测量电侵蚀组件的电压波形上的一个点处的电压；对于电压波形的多个脉冲重复测量，以获得多个电压，每个电压对应各个脉冲中的点；平均这些电压以获得平均电压；比较平均电压和至少一个阈值电压V_th以判断机械加工是否在控制之中；如果比较显示该机械加工不在控制之中，则产生至少一个控制信号，设置该至少一个控制信号以调节电源的至少一个运行参数；以及如果已经产生了控制信号，则将至少一个控制信号施加给电源。