发明名称 |
铬靶材的制作方法 |
摘要 |
一种铬靶材的制作方法,包括:首先提供铬粉末;接着将铬粉末放置入真空包套并抽真空;然后采用热等静压工艺对真空包套内的铬粉末进行烧结成型,形成铬靶材;完成烧结成型后,进行冷却并拆除真空包套取出铬靶材。采用本发明提供的铬靶材的制作方法,避免使用模具,同时,形成的铬靶材的致密度、内部组织结构的均匀性优于采用热压形成的铬靶材的致密度、内部组织结构的均匀性,而且,铬靶材的纯度也能满足要求越来越高的溅射工艺。 |
申请公布号 |
CN103785838A |
申请公布日期 |
2014.05.14 |
申请号 |
CN201210429639.2 |
申请日期 |
2012.11.01 |
申请人 |
宁波江丰电子材料有限公司 |
发明人 |
姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;宋佳 |
分类号 |
B22F3/16(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I |
主分类号 |
B22F3/16(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
骆苏华 |
主权项 |
一种铬靶材的制作方法,其特征在于,包括:提供铬粉末;将铬粉末放置入真空包套并抽真空;采用热等静压工艺对真空包套内的铬粉末进行烧结成型,形成铬靶材;完成烧结成型后,进行冷却并拆除真空包套取出铬靶材。 |
地址 |
315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号 |