发明名称 |
复合膜高效晶体硅太阳能电池及其制造方法 |
摘要 |
本发明涉及晶体硅太阳能电池的制造技术,具体是一种复合膜高效晶体硅太阳能电池及其制造方法。本发明的复合膜高效晶体硅太阳能电池包括有硅衬底、沉积在硅衬底上的SiN<sub>x</sub>材料层、沉积在SiN<sub>x</sub>材料层上的SiON<sub>y</sub>材料层;所述SiN<sub>x</sub>材料层的不同厚度处折射率在2.0-2.3范围变化;所述SiON<sub>y</sub>材料层的不同厚度处折射率在1.5-1.9范围变化。本发明能够提高晶体硅太阳能电池效率、有利于消除PID效应。 |
申请公布号 |
CN103794658A |
申请公布日期 |
2014.05.14 |
申请号 |
CN201410039368.9 |
申请日期 |
2014.01.27 |
申请人 |
镇江大全太阳能有限公司 |
发明人 |
张良;李良;闻震利;连锦坤;王霞 |
分类号 |
H01L31/0216(2014.01)I;H01L31/18(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C16/42(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/0216(2014.01)I |
代理机构 |
镇江京科专利商标代理有限公司 32107 |
代理人 |
夏哲华 |
主权项 |
一种复合膜高效晶体硅太阳能电池,其特征是:它包括有硅衬底、沉积在硅衬底上的SiN<sub>x</sub>材料层、沉积在SiN<sub>x</sub>材料层上的SiON<sub>y</sub>材料层;所述SiN<sub>x</sub>材料层的不同厚度处折射率在2.0‑2.3范围变化;所述SiON<sub>y</sub>材料层的不同厚度处折射率在1.5‑1.9范围变化。 |
地址 |
212211 江苏省镇江市扬中市新坝镇新中南路66号 |