发明名称 复合膜高效晶体硅太阳能电池及其制造方法
摘要 本发明涉及晶体硅太阳能电池的制造技术,具体是一种复合膜高效晶体硅太阳能电池及其制造方法。本发明的复合膜高效晶体硅太阳能电池包括有硅衬底、沉积在硅衬底上的SiN<sub>x</sub>材料层、沉积在SiN<sub>x</sub>材料层上的SiON<sub>y</sub>材料层;所述SiN<sub>x</sub>材料层的不同厚度处折射率在2.0-2.3范围变化;所述SiON<sub>y</sub>材料层的不同厚度处折射率在1.5-1.9范围变化。本发明能够提高晶体硅太阳能电池效率、有利于消除PID效应。
申请公布号 CN103794658A 申请公布日期 2014.05.14
申请号 CN201410039368.9 申请日期 2014.01.27
申请人 镇江大全太阳能有限公司 发明人 张良;李良;闻震利;连锦坤;王霞
分类号 H01L31/0216(2014.01)I;H01L31/18(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C16/42(2006.01)I 主分类号 H01L31/0216(2014.01)I
代理机构 镇江京科专利商标代理有限公司 32107 代理人 夏哲华
主权项 一种复合膜高效晶体硅太阳能电池,其特征是:它包括有硅衬底、沉积在硅衬底上的SiN<sub>x</sub>材料层、沉积在SiN<sub>x</sub>材料层上的SiON<sub>y</sub>材料层;所述SiN<sub>x</sub>材料层的不同厚度处折射率在2.0‑2.3范围变化;所述SiON<sub>y</sub>材料层的不同厚度处折射率在1.5‑1.9范围变化。
地址 212211 江苏省镇江市扬中市新坝镇新中南路66号