具有圆形结构的工件储料器

摘要

本发明公开了一种用于在制造设备中储存工件的改进的堆垛机结构，其采用围绕机器人处理部件固定地配置的工件隔间。机器人处理装置可以设计成具有三个自由度，以提高速度、产量并最小化颗粒的产生。此外，在可动部件是机器人部件的情况下，堆垛机储存区域是固定的，因而进一步有利于储存堆垛机的洁净度。为了快速存取、节省空间和便于清洁空气净化，堆垛机结构可以是开放的储存区域。利用圆周边缘夹具机器人处理部件，堆垛机结构能够提供高密度工件储存。

主权项

一种用于储存多个扁平衬底的储料器，每个扁平衬底包括两个相对的平滑表面和外围边缘，所述储料器包括：储存隔间，其用于保持所述扁平衬底，该储存隔间设计为用于允许通过所述外围边缘而不延伸到所述平滑表面来存取衬底；一体的衬底处理装置，包括用于将所述衬底转移到所述储存隔间内和转移出所述存储隔间的边缘夹持处理装置，所述边缘夹持处理装置通过所述外围边缘而不延伸到所述平滑表面来处理衬底，所述一体的衬底处理装置还包括用于通过延伸到所述平滑表面来处理衬底的端部操纵装置；装载端口，设计为用于允许通过延伸到所述平滑表面的端部操纵装置存取衬底，水平站，用于在所述储存隔间和装载端口之间转移衬底，其中所述水平站中的所述衬底能够由所述一体的衬底处理装置的边缘夹持处理装置或端部操纵装置处理；其中所述边缘夹持处理装置设计为存取所述储存隔间和所述水平站中的衬底，并且其中所述端部操纵装置设计为存取所述装载端口和所述水平站中的衬底。