一种通过感应方法生产多晶硅锭的方法

摘要

一种通过感应方法生产多晶硅锭的方法，包括将硅原料装入到被电感器包围的冷坩埚的熔化室内，形成熔体表面，以及熔化，其中，装入硅原料的质量速率和锭的拉出速度，设定至可以使熔体表面位置在电感器的上平面下，但是不低于其高度的1/3，且熔体表面保持在相同水平。通过保持电感器供给输出参数之一在预定的范围内，使熔体表面位置保持在相同水平上。该工艺提供的铸造多晶硅锭适用于太阳能电池的制作，重要的是其生产效率提高，能量的消耗降低。

主权项

一种通过感应方法生产多晶硅锭的方法，该方法包括将硅原料装入被电感器包围的冷却坩埚的熔化室内，形成熔体表面，熔化的同时监测电感器供给输出参数，以及在控制冷却条件下拉出多晶硅锭，其特征在于，在熔化过程中，装入硅原料的质量速率和锭的拉出速度，设定至使熔体表面位置在电感器的上平面以下，但是不低于其高度的1/3，且熔体表面保持在相同水平。