一种在碳化硅衬底上制备石墨烯的装置

摘要

本实用新型属于新材料技术领域，具体涉及一种利用高温退火在碳化硅衬底上制备石墨烯的装置，该装置包括石英加热腔和可放置在使用加热腔内的石墨桶，使用时可将石墨桶放置在腔体内，利用常规的射频加热方式对其加热生产石墨烯，其中石英加热腔包括内有中空夹层的上开口腔体和顶盖，腔体内设置有保温层，保温层中部为保温层凹槽；所采用的石墨桶包括上端开口的桶体，桶体底部上表面设置有凹槽，石墨桶上部侧壁上设置有定位块，定位块上放置有热反射屏；采用这种结构的装置，加热均匀且效率高，热量散失少，通过其利用高温退火在碳化硅衬底上制备石墨烯，提高了石墨烯的纯度，节约了生产成本，提高了生产效率。

主权项

一种在碳化硅衬底上制备石墨烯的装置，包括石英加热腔和可放置在加热腔内的石墨桶，其特征在于：所述的石英加热腔，包括内有中空夹层的上开口腔体（1）和顶盖（9），顶盖（9）上设置有测温窗口（3）和进气口（2），腔体底部设置有测温窗口（3）和出气口（5），腔体（1）一侧顶部设置有与中空夹层联通的冷却水出口（4），腔体（1）另一侧底部设置有与中空夹层联通的冷却水进口（6），腔体（1）内设置有保温层（7）；所述的石墨桶，包括上端开口的桶体（10），桶体（10）底部上表面设置有凹槽（11），石墨桶上部侧壁上设置有至少两个定位块（12），定位块（12）上放置有热反射屏（13）。