一种用于氢化物气相外延的光辅助加热系统

摘要

本发明公开了一种用于多片式氢化物气相外延（HVPE）反应器的光辅助加热系统，包括：放置在反应器内部、石墨衬底正上方的红外灯加热器，放置在反应器外底部、石墨衬底正下方的红外灯加热器，放置在反应器外部、石墨衬底侧上方或侧下方的包围着反应器石英管一圈的红外灯加热器，以及包围着反应器石英管其余部分的电阻丝加热器。本发明提出的光辅助加热系统能够快速均匀地加热衬底温度，特别是能够满足均匀加热大面积衬底的要求。

主权项

一种用于多片式氢化物气相外延 (HVPE)反应器的光辅助加热系统，其特征为：采用光辅助红外灯加热器，或是布置在反应器内部，位于石墨衬底正上方的轴线上；或是布置在反应器底部，位于石墨衬底正下方的轴线上；或是布置在围绕反应器石英管外壁的圆周上，位于石墨衬底的侧上方或侧下方，而包围反应器石英管外壁的其余部分采用主电阻加热器，在主电阻加热器实施加热的同时，四种红外灯辅助加热器可以分别单独地、也可以联合地实施加热。