发明名称 一种光刻胶组合物
摘要 本发明公开了一种光刻胶组合物,按重量份计,包括:聚醚改性的有机硅流平剂580.1-1.0份,多官能基单体7-23份;碱可溶树脂13-29份;颜料分散体23-62.8份;光引发剂1.5-11.9%;溶剂10-45%。这种光刻胶组合物能够解决现有光刻胶组合物涂膜流平性不好,在高温后烘后,膜层表面收缩的问题。
申请公布号 CN103792789A 申请公布日期 2014.05.14
申请号 CN201410040176.X 申请日期 2014.01.27
申请人 京东方科技集团股份有限公司 发明人 王雪岚
分类号 G03F7/027(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I 主分类号 G03F7/027(2006.01)I
代理机构 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人 李迪
主权项 一种光刻胶组合物,按重量份计,包括:聚醚改性的有机硅流平剂580.1‑1.0份,多官能基单体7‑23份;碱可溶树脂13‑29份;颜料分散体23‑62.8份;光引发剂1.5‑11.9份;溶剂10‑45份。
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