发明名称 Improvements in methods of etching bodies
摘要
申请公布号 GB919158(A) 申请公布日期 1963.02.20
申请号 GB19590006711 申请日期 1959.02.26
申请人 MULLARD LIMITED 发明人 FLINN IAN;SCOFIELD BRIAN THOMAS
分类号 C23F1/02;C23F1/08;C25F7/00;H01L21/00;H01L21/3063 主分类号 C23F1/02
代理机构 代理人
主权项
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