发明名称 |
Improvements in methods of etching bodies |
摘要 |
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申请公布号 |
GB919158(A) |
申请公布日期 |
1963.02.20 |
申请号 |
GB19590006711 |
申请日期 |
1959.02.26 |
申请人 |
MULLARD LIMITED |
发明人 |
FLINN IAN;SCOFIELD BRIAN THOMAS |
分类号 |
C23F1/02;C23F1/08;C25F7/00;H01L21/00;H01L21/3063 |
主分类号 |
C23F1/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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