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发明名称 Vorrichtung und Verfahren zum masshaltigen AEtzen kleiner Teilchen, insbesondere zum AEtzen von Kristallplaettchen aus Halbleitermaterial
摘要
申请公布号 DE1144079(B) 申请公布日期 1963.02.21
申请号 DE1960J017689 申请日期 1960.02.11
申请人 INTERMETALL, GESELLSCHAFT FUER METALLURGIE;ELEKTRONIK M.B.H. 发明人 GOTHOT DIPL.-PHYS. RUDOLF
分类号 C23F1/08;H01L21/306 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
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