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发明名称 Tunable ultrasound transducers
摘要 A variety of micromachined structures are disclosed for use in DC-tunable ultrasound transducers.
申请公布号 US8723399(B2) 申请公布日期 2014.05.13
申请号 US201113337499 申请日期 2011.12.27
申请人 SAMMOURA FIRAS;KIM SANG-GOOK;MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY;MASDAR INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 发明人 SAMMOURA FIRAS;KIM SANG-GOOK
分类号 H01L41/08 主分类号 H01L41/08
代理机构 代理人
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