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经营范围
发明名称
光照射装置
摘要
申请公布号
TWI437653
申请公布日期
2014.05.11
申请号
TW098114869
申请日期
2009.05.05
申请人
琳得科股份有限公司 日本
发明人
竹内顺一
分类号
H01L21/67;H01L21/30
主分类号
H01L21/67
代理机构
代理人
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址
日本
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