发明名称 常压电浆辅助化学气相沉积设备
摘要
申请公布号 TWI437121 申请公布日期 2014.05.11
申请号 TW101119978 申请日期 2012.06.04
申请人 馗鼎奈米科技股份有限公司 台南市永康区亚太工业区中正路279巷21弄59号 发明人 徐逸明;王致鹏
分类号 C23C16/54 主分类号 C23C16/54
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项
地址 台南市永康区亚太工业区中正路279巷21弄59号