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发明名称 微影术用下层膜形成组成物及多层光阻图案形成方法
摘要
申请公布号 TWI437370 申请公布日期 2014.05.11
申请号 TW097147357 申请日期 2008.12.05
申请人 三菱瓦斯化学股份有限公司 日本 发明人 小黑大;东原豪;北诚二;北村光晴;荻原雅司
分类号 G03F7/11;C08G8/08;C08G8/28;G03F7/004;H01L21/027 主分类号 G03F7/11
代理机构 代理人 何金涂 台北市大安区敦化南路2段77号8楼
主权项
地址 日本
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