发明名称 半导体装置的制造方法
摘要
申请公布号 TWI437642 申请公布日期 2014.05.11
申请号 TW097130665 申请日期 2008.08.12
申请人 半导体能源研究所股份有限公司 日本 发明人 山崎舜平;古野诚
分类号 H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本