| 发明名称 |
形成光微影图案之聚合物、光阻剂组成物及方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI437011 |
申请公布日期 |
2014.05.11 |
| 申请号 |
TW100149502 |
申请日期 |
2011.12.29 |
| 申请人 |
罗门哈斯电子材料有限公司 美国;陶氏全球科技责任有限公司 美国 |
发明人 |
裵荣喆;彼得森 汤玛士Ｈ;刘易;朴钟根;李承炫;卡多罗西亚 汤玛士 |
| 分类号 |
C08F220/32;G03F7/004;G03F7/20 |
主分类号 |
C08F220/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
